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已完成研发并进入使用测试阶段。初步完成储存芯片、硅基微显、硅光、先辈封拆等芯片研发验证。据报道，型号为“羲之”，这台设备由浙江大学余杭量子研究院自从研发，成功通过验收，&ld快科技8月5日动静，并交付至国内特色工艺客户，近日，近日全国首台国产贸易化电子束光刻机正在杭州正式表态，
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